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发明名称
摘要
申请公布号 JP2504611(B2) 申请公布日期 1996.06.05
申请号 JP19900210324 申请日期 1990.08.10
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 FURUSAWA TAKAYUKI
分类号 H01L21/205;C23C16/44;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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