发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08139178(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940274120 申请日期 1994.11.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 WATANABE KEIKI;NAGAYAMA YOSHIHARU;MASUZAWA KAZUTAKA
分类号 H01L21/762;H01L23/34;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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