发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08139316(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940276195 申请日期 1994.11.10
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJIHIRA TATSUHIKO;MOMOTA SEIJI;NISHIMURA TAKEYOSHI;SUGIMURA KAZUTOSHI;YOSHINO MASAO;KOBAYASHI TAKASHI
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/306;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/8238;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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