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发明名称 AUTOMATIC PROCESSOR OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH08139063(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940302978 申请日期 1994.11.11
申请人 KAIJO CORP 发明人 OSAWA TADAYASU
分类号 G02F1/1333;B08B3/04;B08B11/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304;G02F1/133 主分类号 G02F1/1333
代理机构 代理人
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