| 发明名称 |
METHOD AND INSTRUMENT FOR MEASURING ELECTRICAL CHARACTERISTIC OF ELECTRONIC DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08136612(A) |
申请公布日期 |
1996.05.31 |
| 申请号 |
JP19940271012 |
申请日期 |
1994.11.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKAGAWA KIYOSHI;MIZUKAMI YOSHIMASA;SAITO TOSHINAO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
