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发明名称 CONVERGENCE MEASURING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08138556(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940268971 申请日期 1994.11.01
申请人 HITACHI LTD;HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 KAWAME KEISUKE;KATSUTA DAISUKE;HORIUCHI TATSUO;SUZUKI TAKAYUKI;HASEBE TATSUMI;HAYASAKA YORIICHI
分类号 H01J9/42;H01J9/44;(IPC1-7):H01J9/42 主分类号 H01J9/42
代理机构 代理人
主权项
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