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发明名称 Säurelabile Lösungsinhibitoren und darauf basierende positiv und negativ arbeitende strahlungsempfindliche Zusammensetzung
摘要
申请公布号 DE59107712(D1) 申请公布日期 1996.05.30
申请号 DE1991507712 申请日期 1991.09.04
申请人 OCG MICROELECTRONIC MATERIALS, INC., WEST PATERSON, N.J., US 发明人 SCHAEDELI, ULRICH, DR., CH-1763 GRANGES-PACCOT, CH
分类号 C07D309/10;G03C1/73;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C07D309/10 主分类号 C07D309/10
代理机构 代理人
主权项
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