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发明名称 Verarbeitungsmethode mit einer Metall-Schiefablagerung
摘要
申请公布号 DE69118945(D1) 申请公布日期 1996.05.30
申请号 DE1991618945 申请日期 1991.01.30
申请人 ROHM CO. LTD., KYOTO, JP 发明人 NAKAGAWA, YOSHIKAZU, ROHM CO., LTD., KYOTO-SHI, KYOTO, JP
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/311;H01L21/28 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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