Integriertes Rastertunnelmikroskop mit pneumatischer und elektrostatischer Steuerung und Verfahren zum Herstellen desselben.,申请号DE1990623347T-传众专利搜索

发明名称	Integriertes Rastertunnelmikroskop mit pneumatischer und elektrostatischer Steuerung und Verfahren zum Herstellen desselben.
摘要
申请公布号	DE69023347(T2)	申请公布日期	1996.05.30
申请号	DE1990623347T	申请日期	1990.12.21
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	GRESCHNER, JOHANN, DR., W-7401 PLIEZHAUSEN 1, DE;NONNENMACHER, MARTIN, DR., W-7036 SCHOENAICH, DE;WOLTER, OLAF, DR., W-7042 AIDLINGEN 3, DE
分类号	G01B7/34;B81B3/00;B81C1/00;G01N27/00;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q60/16;H01J9/14;H01J37/28;(IPC1-7):G01N27/00	主分类号	G01B7/34
代理机构		代理人
主权项
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