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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR SPECTROSCOPIC MEASUREMENTS
摘要
申请公布号 EP0713574(A1) 申请公布日期 1996.05.29
申请号 EP19940905717 申请日期 1994.01.27
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GERBER, CHRISTOPH;GIMZEWSKI, JAMES, KAZIMIERZ;REIHL, BRUNO;SCHLITTLER, RAETO, RUDOLF
分类号 G01J3/42;G01N25/22;G01N13/10;G01N13/16;G01N21/27;G01N25/34;G01N25/36;G01N25/48;G01N27/00;G01N37/00;H01H1/00;H01H37/52;H01L41/08;(IPC1-7):G01J3/42 主分类号 G01J3/42
代理机构 代理人
主权项
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