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发明名称
PROCESS OF MANUFACTURE OF SILICA FILMS
摘要
申请公布号
RU2061095(C1)
申请公布日期
1996.05.27
申请号
SU19884493387
申请日期
1988.07.18
申请人
BORISLAVSKIJ NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT "SINTEZ" S OPYTNYM ZAVODOM;KONTSERN "RODON"
发明人
KOCHUBEJ VITALIJ F;SENYUTA TARAS B;GUTOR IVAN M;AVRUSTIMOV VITALIJ L;BIRKOVYJ YURIJ L;TOKARCHUK VLADIMIR P;GUMENYAK MIKHAIL V;MASKOVICH STEPAN N
分类号
C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/40
主分类号
C23C16/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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