发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF SILICA FILMS
摘要
申请公布号 RU2061095(C1) 申请公布日期 1996.05.27
申请号 SU19884493387 申请日期 1988.07.18
申请人 BORISLAVSKIJ NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT "SINTEZ" S OPYTNYM ZAVODOM;KONTSERN "RODON" 发明人 KOCHUBEJ VITALIJ F;SENYUTA TARAS B;GUTOR IVAN M;AVRUSTIMOV VITALIJ L;BIRKOVYJ YURIJ L;TOKARCHUK VLADIMIR P;GUMENYAK MIKHAIL V;MASKOVICH STEPAN N
分类号 C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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