| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING FIELD-EFFECT TRANSISTORS WITH SELF-ALIGNING GATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU1628766(C) |
申请公布日期 |
1996.05.27 |
| 申请号 |
SU19894630779 |
申请日期 |
1989.01.02 |
| 申请人 |
AKHINKO I.A.;ILICHEV E.A.;INKIN V.N. |
发明人 |
AKHINKO I.A.;ILICHEV E.A.;INKIN V.N. |
| 分类号 |
H01L21/18;(IPC1-7):H01L21/18 |
主分类号 |
H01L21/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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