| 发明名称 |
DEPOSITION OF FILM AND FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08130248(A) |
申请公布日期 |
1996.05.21 |
| 申请号 |
JP19950228069 |
申请日期 |
1995.09.05 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
JITSUZAWA YOSHISUE;HIRASE YUKIMOTO;AOE HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/205;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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