发明名称 |
CARRIER TRANSFER DEVICE FOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08124992(A) |
申请公布日期 |
1996.05.17 |
申请号 |
JP19940284078 |
申请日期 |
1994.10.24 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
OBARA SHIGERU |
分类号 |
H01L21/677;H01L21/02;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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