发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08125017(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940260166 申请日期 1994.10.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MAE YOICHIRO;MIZUNO HIROSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/822;H01L23/52;H01L23/522;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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