发明名称 MANUFACTURE OF SAPPHIRE DUMMY WAFER
摘要
申请公布号 JPH08124815(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940233876 申请日期 1994.09.28
申请人 TOONO SEIKI:KK 发明人 HATTORI OSAMU
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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