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发明名称
MANUFACTURE OF SAPPHIRE DUMMY WAFER
摘要
申请公布号
JPH08124815(A)
申请公布日期
1996.05.17
申请号
JP19940233876
申请日期
1994.09.28
申请人
TOONO SEIKI:KK
发明人
HATTORI OSAMU
分类号
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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