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发明名称 VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH08124699(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940262483 申请日期 1994.10.26
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 KATAYAMA KOICHI
分类号 H05H7/14;H05H13/04;(IPC1-7):H05H13/04 主分类号 H05H7/14
代理机构 代理人
主权项
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