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发明名称 SURFACE CHARACTERISTIC MEASURING METHOD FOR PLANE MIRROR AND STAGE MOVING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08122204(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940255355 申请日期 1994.10.20
申请人 NIKON CORP 发明人 KAMIYA SABURO
分类号 G01B11/02;G01B9/02;G01M11/00;G12B5/00;(IPC1-7):G01M11/00 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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