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发明名称 PLANARISATIONSMETHODE FÜR IC-STRUKTUR
摘要
申请公布号 AT137608(T) 申请公布日期 1996.05.15
申请号 AT19900203418T 申请日期 1989.10.24
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 MARKS, JEFFREY;LAW, KAM SHING;WANG, DAVID NIN-KOU;MAYDAN, DAN
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/311;H01L21/314 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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