| 发明名称 |
ULTRAVIOLET ABSORBANCY-MEASURING METHOD AND APPARATUS FOR PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08117734(A) |
申请公布日期 |
1996.05.14 |
| 申请号 |
JP19940257231 |
申请日期 |
1994.10.24 |
| 申请人 |
MEIDENSHA CORP |
发明人 |
TSUKITARI KEIICHI;WATANABE TETSUFUMI |
| 分类号 |
G01N21/33;C02F1/00;C02F1/20;C02F1/78;(IPC1-7):C02F1/00 |
主分类号 |
G01N21/33 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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