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发明名称 Anordnung und Verfahren zum Messen der Dicke einer Schicht
摘要
申请公布号 DE4227734(C2) 申请公布日期 1996.05.15
申请号 DE19924227734 申请日期 1992.08.21
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 THORN, GERNOT, DIPL.-ING., 63454 HANAU, DE
分类号 G01B7/06;G01B21/08;G01N27/72;(IPC1-7):G01B7/06 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
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