发明名称 Plasma cvd process for making a tool
摘要
申请公布号 IN176360(B) 申请公布日期 1996.05.11
申请号 IN1994CA11819 申请日期 1994.02.25
申请人 KRUPP WIDIA GMBH 发明人 KONIG UDO;HERG VAN DEN HENDRIKUS;TABERSKY RALF;BLUM JOSEF
分类号 C23C14/14;C23C14/24;C23C14/28;C23C16/00;C23C16/32;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/44;C23C16/50;(IPC1-7):C23C14/14 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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