发明名称 |
Method of purifying and depositing group IIIb and group Vb compounds to produce epitaxial films |
摘要 |
|
申请公布号 |
HK79196(A) |
申请公布日期 |
1996.05.10 |
申请号 |
HK19960000791 |
申请日期 |
1996.05.02 |
申请人 |
EAGLE-PICHER INDUSTRIES INC |
发明人 |
POTTS THOMAS M. |
分类号 |
C01B6/34;C01B9/00;C01B25/06;C01B25/10;C01B35/06;C01G1/06;C01G15/00;C01G28/00;C07F5/00;C07F5/06;C07F9/50;C07F9/72;C07F9/94;C30B25/02;C30B25/14;C30B29/40;G01N30/46;(IPC1-7):C30B25/02 |
主分类号 |
C01B6/34 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|