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发明名称 Verfahren zum Trockenätzen.
摘要
申请公布号 DE3854561(T2) 申请公布日期 1996.05.02
申请号 DE19883854561T 申请日期 1988.07.01
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 ARIKADO, TSUNETOSHI C/O PATENT DIVISION, 1-1, SHIBAURA 1-CHOME MINATO-KU TOKYO105, JP;HORIKE, YASUHIRO C/O PATENT DIVISION, 1-1, SHIBAURA 1-CHOME MINATO-KU TOKYO105, JP;SEKINE, MAKOTO C/O PATENT DIVISION, 1-1, SHIBAURA 1-CHOME MINATO-KU TOKYO105, JP;OKANO, HARUO C/O PATENT DIVISION, 1-1, SHIBAURA 1-CHOME MINATO-KU TOKYO105, JP
分类号 H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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