发明名称 Vorrichtung zum Behandeln von Halbleitern.
摘要
申请公布号 DE68924758(T2) 申请公布日期 1996.05.02
申请号 DE19896024758T 申请日期 1989.11.21
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KAGEYAMA, MOKUJI INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP;YOSHIKAWA, KIYOSHI INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP;SHIMAZAKI, AYAKO INTELLECTUAL PROPERTY DIVISIO, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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