发明名称 Multistage dry compressing vacuum pump and method for its operation
摘要
申请公布号 EP0448750(B1) 申请公布日期 1996.05.01
申请号 EP19900105783 申请日期 1990.03.27
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BACHMANN, PAUL, DR.;BRENNER. LOTHAR;KRIEHN, HARTMUT;KUHN, MONIKA, DR.
分类号 F04C28/00;B01D53/04;B01D53/32;B01D53/68;F04C23/00;F04C25/02;F04C28/02;F04C28/28;F04C29/00;F04C29/12;(IPC1-7):F04C29/10 主分类号 F04C28/00
代理机构 代理人
主权项
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