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发明名称 ELECTRON GUN ARRANGEMENT FOR USE IN THE ELECTRON BEAM EVAPORATION PROCESS
摘要
申请公布号 KR960005808(B1) 申请公布日期 1996.05.01
申请号 KR19900011706 申请日期 1990.07.31
申请人 ANELUVA K.K. 发明人 YAMAMOTO, HISASHI
分类号 C23C14/30;H01J37/147;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/06 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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