| 发明名称 |
MANUFACTURING FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08111412(A) |
申请公布日期 |
1996.04.30 |
| 申请号 |
JP19940243009 |
申请日期 |
1994.10.06 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KATO TAKASHI;OBA TAKAYUKI;FURUMURA YUJI |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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