| 发明名称 |
INSPECTION DEVICE OF FLAT PANEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08110363(A) |
申请公布日期 |
1996.04.30 |
| 申请号 |
JP19940245299 |
申请日期 |
1994.10.11 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD;MARUHO HATSUJO KOGYO KK |
发明人 |
YUZUTORI TAKAAKI;ISHIDA AKIO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/073;G01R31/00;G01R31/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/02 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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