发明名称 石墨奈米纤维的制作方法,电子放出源及显示元件
摘要 提供一种利用于射极也不会发生短路,作成可制作FED之际的发光点的斑改善的石墨奈米纤维的制作方法,以及利用所得到石墨奈米纤维的电子放出源,及显示元件。在具有所定膜厚的触媒层所形成的基板上导入碳供给气体与氢气体所构成的混合气体,而在基板上形成膜厚被控制的石墨奈米纤维层与非纤维层所构成的石墨奈米纤维。作为触媒使用Fe、Co、或至少含有此等金属的一种类的合金,又,在350至650℃,成长1至60分钟。利用所得到石墨奈米纤维而得到电子放出源及显示元件。
申请公布号 TW200406513 申请公布日期 2004.05.01
申请号 TW092123209 申请日期 2003.08.22
申请人 优贝克科技股份有限公司;阿尔贝克成膜股份有限公司 发明人 平川正明;三浦治;村上裕彦;小野一修;藤井健司;冈谦介;佐佐木贵英
分类号 D01F9/127;C01B31/02 主分类号 D01F9/127
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本