发明名称 Kathode zum Beschichten eines Substrats
摘要
申请公布号 DE59205763(D1) 申请公布日期 1996.04.25
申请号 DE19925005763 申请日期 1992.07.10
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 WOLF, BERND, W-6450 HANAU, DE;MUELLER, JUERGEN, DR., W-6000 FRANKFURT 50, DE;NEUDERT, HANS, W-6463 FREIGERICHT, DE
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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