发明名称 Integrierte Halbleiterschaltung und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE69025989(D1) 申请公布日期 1996.04.25
申请号 DE19906025989 申请日期 1990.06.22
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 TAGUCHI, MINORU, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;MOCHIZUKI, HIROSHI, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV, MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号 H01L21/761;H01L21/339;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/105;H01L29/762;(IPC1-7):H01L27/105 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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