SQUID WITH A SUPERCONDUCTIVE LOOP AND RESONATOR

摘要

Die Erfindung betrifft einen SQUID mit schichtförmig auf der Vorderseite eines Substrats gebildeter, einen Josephson-Kontakt enthaltender, supraleitender Schleife und supraleitendem Resonator. Es ist Aufgabe der Erfindung, einen SQUID mit gekoppeltem Resonator zu schaffen, der gegenüber bekannten SQUIDs eine erhöhte Energieauflösung bei niedrigerem Rauschen und hoher Feldempfindlichkeit aufweist. Dazu ist der Resonator schichtförmig gebildet, mit der vorderen Seite eines zweiten Substrats fest verbunden, wobei der Resonator an der Rückseite des ersteren Substrats anliegt. Das zweite Substrat weist auf seiner Rückseite eine supraleitende Schicht auf, die lateral geometrisch der Strukturierung der Schleife des ersten Substrats mit Ausnahme der Beschichtung im Bereich des Josephson-Kontaktes entspricht, wobei als Substratmaterial dielektrisches Material verwendet ist.