| 发明名称 |
ANALYZING METHOD FOR IMPURITY IN ORGANIC METAL COMPOUND AND DECOMPOSING DEVICE FOR IMPURITY ANALYSIS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08101174(A) |
申请公布日期 |
1996.04.16 |
| 申请号 |
JP19940235599 |
申请日期 |
1994.09.29 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
SAITO SHIGE;OSHIMA MITSUYOSHI |
| 分类号 |
G01N30/04;G01N30/06;G01N30/08;G01N30/32;G01N30/46;(IPC1-7):G01N30/06 |
主分类号 |
G01N30/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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