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发明名称 METHOD FOR INSPECTING IC AT HIGH TEMPERATURE
摘要
申请公布号 JPH08101250(A) 申请公布日期 1996.04.16
申请号 JP19940261872 申请日期 1994.09.30
申请人 MITSUMI ELECTRIC CO LTD 发明人 YAMANAKA YUJI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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