发明名称 PLASMAUNTERSTÜTZTE DIAMANTHERSTELLUNG
摘要
申请公布号 AT135752(T) 申请公布日期 1996.04.15
申请号 AT19920305950T 申请日期 1992.06.29
申请人 DE BEERS INDUSTRIAL DIAMOND DIVISION (PROPRIETARY) LIMITED 发明人 WORT, CHRISTOPHER JOHN HOWARD;SUSSMANN, RICARDO SIMON;HOLLIDAY, HARRY RICHARD;HAWKINS, DENNIS CHARLES
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;C30B29/04;H01L21/205;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/50;H01Q19/00 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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