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发明名称 VACUUM FILM FORMATION SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0897154(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940229187 申请日期 1994.09.26
申请人 SONY CORP 发明人 SHIGYO SHOICHI
分类号 C30B25/14;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
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