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发明名称 MICROROTATION STAGE
摘要
申请公布号 JPH0894779(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940258762 申请日期 1994.09.28
申请人 MITSUBISHI CHEM CORP 发明人 SHIMOKAWABE AKIRA;WADA SHINICHI
分类号 G12B5/00;G02B27/28;(IPC1-7):G12B5/00 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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