| 发明名称 |
WASHER AND METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0889910(A) |
申请公布日期 |
1996.04.09 |
| 申请号 |
JP19940259107 |
申请日期 |
1994.09.28 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK |
发明人 |
HASHIMOTO HIROSHI |
| 分类号 |
B08B11/04;B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/02 |
主分类号 |
B08B11/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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