发明名称 Dispositif pour former un plasma par application de micro-ondes afin de produire un faisceau d'ions.
摘要
申请公布号 FR2715019(B1) 申请公布日期 1996.04.05
申请号 FR19940000313 申请日期 1994.01.13
申请人 PLASMION 发明人 WARTSKI LOUIS;BOUKARI FAROUK;AUBERT JEAN
分类号 H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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