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发明名称 LAMINATE PROBE CONTACT FOR VERY SMALL PITCH INSPECTION
摘要
申请公布号 JPH0886809(A) 申请公布日期 1996.04.02
申请号 JP19950058274 申请日期 1995.02.23
申请人 KIYOTA SEISAKUSHO:KK 发明人 KIYOTA SHIGEO
分类号 G01R1/073;G01R31/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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