发明名称 MOTOR-DRIVEN STAGE CONTROLLER FOR MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0886965(A) 申请公布日期 1996.04.02
申请号 JP19950259901 申请日期 1995.10.06
申请人 NIKON CORP 发明人 SUZUKI AKITOSHI
分类号 G02B7/16;G02B21/26;(IPC1-7):G02B21/26 主分类号 G02B7/16
代理机构 代理人
主权项
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