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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0834251(B2)	申请公布日期	1996.03.29
申请号	JP19880195052	申请日期	1988.08.03
申请人		发明人
分类号	H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82	主分类号	H01L21/822
代理机构		代理人
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