发明名称 Vorrichtung zur Versorgung von CVD-Beschichtungseinrichtungen
摘要
申请公布号 DE59301634(D1) 申请公布日期 1996.03.28
申请号 DE19935001634 申请日期 1993.10.20
申请人 SCHOTT GLASWERKE, 55122 MAINZ, DE 发明人 BITTNER, HANS-JOACHIM, D-55218 INGELHEIM, DE;KLEIN, HANS-JUERGEN, D-37581 BAD GANDERSHEIM, DE;KUEPPER, THOMAS, D-37581 BAD GANDERSHEIM, DE;MOERSEN, EWALD, D-64546 MOERFELDEN, DE
分类号 C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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