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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING INTEGRATED CIRCUITS WITH SIDE DIELECTRIC INSULATION
摘要
申请公布号
RU1060066(C)
申请公布日期
1996.03.27
申请号
SU19823409914
申请日期
1982.01.08
申请人
MANZHA N.M.;PATYUKOV S.I.;SHURCHKOV I.O.;KAZUROV B.I.;POPOV A.A.;KOKIN V.N.
发明人
MANZHA N.M.;PATYUKOV S.I.;SHURCHKOV I.O.;KAZUROV B.I.;POPOV A.A.;KOKIN V.N.
分类号
H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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