发明名称 METHOD FOR FORMING ELEMENT ISOLATION REGION
摘要
申请公布号 JPH0883795(A) 申请公布日期 1996.03.26
申请号 JP19950141732 申请日期 1995.06.08
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KOBAYASHI TOSHIO;NAKAYAMA SATOSHI
分类号 H01L21/316;H01L21/318;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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