| 发明名称 |
METHOD FOR CONTINUOUSLY FORMING FILM BY RADICAL CVD UNDER HIGH PRESSURE AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0881778(A) |
申请公布日期 |
1996.03.26 |
| 申请号 |
JP19940221466 |
申请日期 |
1994.09.16 |
| 申请人 |
YUUHA MIKAKUTOU SEIMITSU KOGAKU KENKYUSHO:KK;MORI YUZO |
发明人 |
MORI YUZO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/455;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
