发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0883845(A) 申请公布日期 1996.03.26
申请号 JP19940234222 申请日期 1994.09.02
申请人 RICOH CO LTD 发明人 SATO SHINJI
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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