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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0828462(B2) 申请公布日期 1996.03.21
申请号 JP19870232201 申请日期 1987.09.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWAI SUEO;NISHIMURA ASAO;KITANO MAKOTO;MIURA HIDEO;YAGUCHI AKIHIRO
分类号 H01L23/50;H01L23/28;H01L29/06;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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