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发明名称 WAFERING DEVICE AND THE METHOD FOR USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR960003541(B1) 申请公布日期 1996.03.15
申请号 KR19880071729 申请日期 1988.12.27
申请人 ASKENAZI, BRIAN I. 发明人 ASKENAZI, BRIAN I.
分类号 B28D1/06;B23D61/12;B24D11/00;B28D1/12;B28D1/22;B28D5/04;H01L21/304;(IPC1-7):B28D1/06 主分类号 B28D1/06
代理机构 代理人
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